金属基材薄膜センサ素子用塗布型粘土絶縁膜

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2019/07/01

タイトル(英語): Coating Type Clay Insulating Layer for Metal Base Thin Film Sensor Devices

著者名: 丹羽　英二（公益財団法人 電磁材料研究所），林　晋也（（株）イチネンケミカルズ 研究開発センター），須貝　一郎（（株）イチネンケミカルズ 研究開発センター），野口　幸紀（（株）イチネンケミカルズ 研究開発センター），飯島　高志（国立研究開発法人 産業技術総合研究所 創エネルギー研究部門），棚池　修（国立研究開発法人 産業技術総合研究所 化学プロセス研究部門），蛯名　武雄（国立研究開発法人 産業技術総合研究所 化学プロセス研究部門）

著者名(英語): Eiji Niwa (Research Institute for Electromagnetic materials), Shinya Hayashi (ICHINEN CHEMICALS CO., LTD.), Ichiro Sugai (ICHINEN CHEMICALS CO., LTD.), Yukinori Noguchi (ICHINEN CHEMICALS CO., LTD.), Takashi Iijima (Research Institute of Energy Frontier, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology), Osamu Tanaike (Research Institute for Chemical Process Technology, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology), Takeo Ebina (Research Institute for Chemical Process Technology, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology)

キーワード: 絶縁膜，粘土，ステンレス，塗布，ひずみセンサ，Cr-N薄膜　　insulating layer，clay，stainless steel，coating，strain sensor，Cr-N thin film

要約(英語): A coating type clay insulating layer was successfully fabricated on a stainless steel surface by dip coating of an aqueous paste of hectorite clay followed by calcination at 600℃. A surface roughness and electrical characteristics of the clay layer were evaluated. Cr-N thin film strain sensors on the clay insulating layer and stainless steel substrate were fabricated and the output properties of them were investigated. It is considered that the clay layer is expected as a candidate of lower-cost insulating materials.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.139 No.7 （2019） 特集：第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文

本誌掲載ページ: 201-208 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/139/7/139_201/_article/-char/ja/