周波数変調・積分型ジャイロスコープのための周波数・Q値の自動マッチング手法の開発

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2019/08/01

タイトル(英語): Automated Frequency and Quality-Factor Matching Method for Frequency Modulated / Rate Integrating Gyroscope

著者名: 塚本　貴城（東北大学 工学研究科 ロボティクス専攻），田中　秀治（東北大学 工学研究科 ロボティクス専攻）

著者名(英語): Takashiro Tsukamoto (Department of Robotics, Tohoku University), Shuji Tanaka (Department of Robotics, Tohoku University)

キーワード: MEMSジャイロスコープ，周波数変調ジャイロスコープ，積分型（全角）ジャイロスコープ，モードマッチング，縮退振動子　　MEMS gyroscope，Frequency modulated gyroscope，Rate integrating (whole angle) gyroscope，Mode matching，Degenerated resonator

要約(英語): This paper reports an automated tuning method for a frequency modulated / rate integrating gyroscope (FM/RIG). The frequency and quality factor mismatches in a MEMS resonator cause the mode-coupling, thus degrade the accuracy of the gyroscope. The X-Y phase difference and amplitude ratio of driving signals are used as the tuning parameters for the mismatch compensation. An automated tuning method based on the relationship between those tuning parameters and mode-coupling terms were developed. Using the proposed method, the mode-coupling effect, which comes from the freqnency and quality factor mismatch, could be 3 orders of magnitude smaller than the non-compensated one.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.139 No.8 （2019）

本誌掲載ページ: 219-224 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/139/8/139_219/_article/-char/ja/