高い熱安定性を有するCr-Al, Cr-Al-B薄膜歪センサ

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2019/08/01

タイトル(英語): High Thermal Stability of Cr-Al and Cr-Al-B Thin Film Strain Sensor

著者名: 白川　究（公益財団法人 電磁材料研究所），佐々木　祥弘（公益財団法人 電磁材料研究所）

著者名(英語): Kiwamu Shirakawa (Research Institute for Electromagnetic Materials), Yoshihiro Sasaki (Research Institute for Electromagnetic Materials)

キーワード: Cr-Al薄膜，Cr-Al-B薄膜，歪ゲージ，熱安定性　　Cr-Al thin film，Cr-Al-B thin film，strain sensor，thermal stability

要約(英語): The authors investigated the thermal stability of thin film strain sensors. As a result, it was found that Cr-Al and Cr-B binary thin film alloys are thermally stable in a wide temperature range of high temperature. Thermal coefficient of Gf (TCS) and thermal coefficient of resistivity (TCR) show zero at Cr-14.5at.%Al thin film alloy prepared on the glass substrate. In addition, we have found a new Cr-Al contain 3～5at.%B ternary thin film strain sensor. These alloys prepared on glass and Fe base substrates showed TCS and TCR becomes zero at same composition. These Cr-Al-B ternary thin film alloys are thermally stable at high temperature, and TCS=TCR=0 can be expected for the various equipment.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.139 No.8 （2019）

本誌掲載ページ: 265-270 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/139/8/139_265/_article/-char/ja/