局所的な微小粒子計測を目指した電極集積型微小孔デバイス
局所的な微小粒子計測を目指した電極集積型微小孔デバイス
カテゴリ: 論文誌(論文単位)
グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門
発行日: 2019/08/01
タイトル(英語): A Device for Localized Measurement of Small Particles with Electrode-Integrated Small Pores
著者名: 竹城 雄大(東京大学 大学院工学系研究科 電気系工学専攻),宇佐美 尚人(東京大学 大学院工学系研究科 電気系工学専攻),岡本 有貴(東京大学 大学院工学系研究科 電気系工学専攻),高田 武晃((株)アドバンテスト),肥後 昭男(東京大学 大規模集積システム設計教育研究センター),池野 理門(東京大学 大規模集積システム設計教育研究センター),鷲津 信栄((株)アドバンテスト),浅田 邦博(東京大学 大規模集積システム設計教育研究センター),三田 吉郎(東京大学 大学院工学系研究科 電気系工学専攻)
著者名(英語): Yudai Takeshiro (Department of Electrical Engineering and Information Systems, The University of Tokyo), Naoto Usami (Department of Electrical Engineering and Information Systems, The University of Tokyo), Yuki Okamoto (Department of Electrical Engineering and Information Systems, The University of Tokyo), Takeaki Takada (Advantest Corporation), Akio Higo (VLSI Design and Education Center, The University of Tokyo), Rimon Ikeno (VLSI Design and Education Center, The University of Tokyo), Nobuei Washizu (Advantest Corporation), Kunihiro Asada (VLSI Design and Education Center, The University of Tokyo), Yoshio Mita (Department of Electrical Engineering and Information Systems, The University of Tokyo)
キーワード: コールター計測,微小孔,結晶異方性エッチング,深掘り反応性イオンエッチング coulter counter,small pore,anisotropic etching,DRIE
要約(英語): In this article, we propose a device with multiple small pores, which are locally integrated with individual electrodes. The application is particle measurement using Coulter's method, using the integrated local electrode on each pore. Coulter's particle counter can achieve high resolution measurement; however, the method had sensitivity and throughput tradeoff problem in reducing measurable particle size. The system can locally observe current around the pore and thereby parallel measurement becomes possible while keeping high sensitivity. The fabricated pore size were 400 nm, 1.0 μm, and 1.5 μm. Spontaneous water flow was achieved with 1.5 μm device, and current dip attributable to Coulter's principle was observed.
本誌: 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) Vol.139 No.8 (2019)
本誌掲載ページ: 271-276 p
原稿種別: 論文/日本語
電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/139/8/139_271/_article/-char/ja/
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