陽極酸化アルミナ膜を用いたQCM湿度センサの開発

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2019/09/01

タイトル(英語): Development of QCM Humidity Sensors Using Anodized Alumina Film

著者名: 山本　展生（東京電機大学 工学研究科），山口　富治（東京電機大学 工学研究科），原　和裕（東京電機大学 工学研究科）

著者名(英語): Nobuo Yamamoto (Tokyo Denki University), Tomiharu Yamaguchi (Tokyo Denki University), Kazuhiro Hara (Tokyo Denki University)

キーワード: 湿度センサ，水晶振動子，多孔質アルミナ，陽極酸化，ガスセンサ　　humidity sensor，quartz crystal microbalance，porous alumina，anodic oxidation，gas sensor

要約(英語): Humidity sensors based on QCM (quartz crystal microbalance) have been developed using an anodized alumina thin-film as a sensing material. An aluminum thin-film is deposited on a silver-coated quartz crystal by electron beam deposition and is anodized in an acid solution. The resultant alumina film is porous. The resonant frequency gradually decreases from 5 to 94%RH and steeply changes near 100%RH. This result shows that the sensor can be used as a dew-point sensor as well as a humidity sensor. The response times to the humidity changes from 27 to 59%RH and from 59 to 27%RH are less than 5 s. The sensor shows reversible response to some gases such as ethanol, toluene and acetone vapors in addition to airborne particles such as pollen.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.139 No.9 （2019） 特集：水センシングに関わるセンサ・システム技術とその応用

本誌掲載ページ: 296-302 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/139/9/139_296/_article/-char/ja/