チタンを反応性イオンエッチングで高速加工するための自己加熱式ステージの開発

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2019/10/01

タイトル(英語): Development of a Self-heated-stage for High Speed Process of Titanium by Reactive Ion Etching

著者名: 桐生　祐弥（新潟大学大学院 自然科学研究科），韓　剛（新潟大学大学院 自然科学研究科），今井　純一（新潟大学大学院 自然科学研究科），寒川　雅之（新潟大学大学院 自然科学研究科），安部　隆（新潟大学大学院 自然科学研究科）

著者名(英語): Yuya Kiryu (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Gang Han (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Junichi Imai (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Masayuki Sohgawa (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Takashi Abe (Graduate School of Science and Technology, Niigata University)

キーワード: 自己加熱式ステージ，チタン，フッ素系ガス，高加工速度，深掘り反応性イオンエッチング　　self-heated-stage，titanium，fluoride gas，high speed process，deep reactive-ion-etching

要約(英語): In this study, we developed a detachable self-heated-stage suitable for high speed processing of titanium by thermally assisted reactive ion etching (TRIE). The detachable self-heated stage was designed based on simulation results. The temperature of the stage increases rapidly within 10 minutes with low radio frequency (RF) power, because of the low thermal capacitance. The etch rates of titanium and titanium alloy by the TRIE improved compared with those of titanium and titanium alloy by a regular RIE. In addition, the replacement of the developed stage with another stage became easier than the previous stage.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.139 No.10 （2019）

本誌掲載ページ: 341-345 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/139/10/139_341/_article/-char/ja/