触覚センシングにおける振動覚検知のためのマイクロカンチレバーの作製と評価

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2019/11/01

タイトル(英語): Fabrication and Characterization of Microcantilever for Detection of Vibration Sensation in Tactile Sensing

著者名: 高橋　春暁（新潟大学大学院自然科学研究科），難波　勇太（新潟大学大学院自然科学研究科），安部　隆（新潟大学大学院自然科学研究科），寒川　雅之（新潟大学大学院自然科学研究科）

著者名(英語): Harutoshi Takahashi (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Yuta Namba (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Takashi Abe (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Masayuki Sohgawa (Graduate School of Science and Technology, Niigata University)

キーワード: 触覚センサ，振動覚，PZT，カンチレバー，エラストマ　　tactile sensor，vibration sensing，PZT，cantilever，elastomer

要約(英語): Humans recognize surface texture of objects by perception of force and vibration during contact. In our previous work, it is demonstrated that multi-axial contact force can be detected by tactile sensor using Si microcantilevers with thin film strain gauge embedded in the elastomer. In this work, to detect vibration, Si microcantilever with PZT thin film embedded in the elastomer has been newly fabricated and characterized. As a result, the output voltage depending on vibration frequency can be successfully obtained from PZT on the fabricated microcantilever. Furthermore, the microcantilever has been thinned by dry etching process after fabrication and it is suggested that sensitivity and frequency characteristics of the vibrational tactile sensor can be controlled.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.139 No.11 （2019）　特集：機能性材料を用いたセンサ・マイクロマシン

本誌掲載ページ: 375-380 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/139/11/139_375/_article/-char/ja/