FePd磁歪膜とPZT圧電膜を搭載した共振型MEMS磁気センサ

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2019/11/01

タイトル(英語): Resonant-type MEMS Magnetic Sensor with FePd Magneto-strictive and PZT Piezo-electric Films

著者名: 岡田　尚樹（山形大学大学院理工学研究科），鈴木　広大（山形大学工学部），峯田　貴（山形大学大学院理工学研究科）

著者名(英語): Naoki Okada (Graduate school of Science and Engineering, Yamagata University), Koudai Suzuki (Faculty of Engineering, Yamagata University), Takashi Mineta (Graduate school of Science and Engineering, Yamagata University)

キーワード: 共振型，磁気センサ，磁歪膜，PZT膜，ブリッジ共振子　　resonant-type，magnetic sensor，magneto-strictive film，PZT film，bridge resonator

要約(英語): This letter describes a resonant-type magnetic sensor with piezo-electric film elements on an Si micro-bridge resonator and other micro-bridge structures with magneto-strictive film to provide structural deformation by external magnetic flux. The sensor was successfully fabricated with thick sol-gel PZT film (1.1 μm) and Fe65Pd35 magneto-strictive film (2 μm) on Si (5 μm) micro-bridges. The resonant behavior was evaluated using the output voltage from the PZT film element on the bridge resonator. The resonant frequency decreased with increasing applied magnetic flux because initial strain of the micro-bridge with the tensile stress of PZT film was relaxed by the magneto-striction.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.139 No.11 （2019）　特集：機能性材料を用いたセンサ・マイクロマシン

本誌掲載ページ: 383-384 p

原稿種別: 研究開発レター／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/139/11/139_383/_article/-char/ja/