電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.140 No.1 （2020） 特集：センサ・マイクロマシン英文特集号

カテゴリ: 論文誌(号単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2020/01/01

タイトル(英語): IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.140 No.1 (2020) Special Issue on “World State-of-the-art Research on Sensors and Micromachines”

著者リスト: ・センサ・マイクロマシン英文特集号によせて：河野　剛士 ・Electrostatic Microelectromechanical Logic Devices Made by CMOS-compatible Surface Micromachining：Makoto Mita，Manabu Ataka，Hiroshi Toshiyoshi ・Solid-Electrolyte Impedancemetric CO2 Sensor Attached with La0.4Sr0.6MnO3 Receptor：Shinya Kuramoto，Youichi Shimizu ・Design and Fabrication of On-Chip Micro-Thermoelectric Cooler Based on Electrodeposition Process：Jirath Enju，Nguyen Huu Trung，Samat Khairul Fadzli，Po-Hung Chen，Takahito Ono ・Etching Mechanism Behind the High-Speed Etching of Silicon in NH2OH-added Alkaline Solutions：Veerla Swarnalatha，Kanneri Thettiyappath Vismaya，Avvaru Venkata Narasimha Rao，Prem Pal，Ashok Kumar Pandey，Hiroshi Tanaka，Kazuo Sato ・Area-selective Cu Film Growth on TiN and SiO2 by Supercritical Fluid Deposition：Naoto Usami，Etsuko Ota，Akio Higo，Takeshi Momose，Yoshio Mita

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/140/1/_contents/-char/ja/