Pt超薄膜型水素センサの駆動電流の最適化による風の外乱影響低減

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2020/04/01

タイトル(英語): Reduction of Wind Disturbance by Optimizing the Drive Current of Pt Ultra-thin Film Hydrogen Sensor

著者名: 合田　悠斗（岡山大学大学院ヘルスシステム統合科学研究科先端医用電子工学研究室），小部　寛斗（岡山大学大学院ヘルスシステム統合科学研究科先端医用電子工学研究室），堺　健司（岡山大学大学院ヘルスシステム統合科学研究科先端医用電子工学研究室），紀和　利彦（岡山大学大学院ヘルスシステム統合科学研究科先端医用電子工学研究室），近藤　健二（リコー電子デバイス（株）），高橋　琢哉（リコー電子デバイス（株）），上田　尚宏（リコー電子デバイス（株）），塚田　啓二（岡山大学大学院ヘルスシステム統合科学研究科先端医用電子工学研

著者名(英語): Yuto Goda (Advanced Electro Measurement Technology Lab. Graduate School of Interdisciplinary Science and Engineering in Health Systems, Okayama University), Hiroto Shobu (Advanced Electro Measurement Technology Lab. Graduate School of Interdisciplinary Science and Engineering in Health Systems, Okayama University), Kenji Sakai (Advanced Electro Measurement Technology Lab. Graduate School of Interdisciplinary Science and Engineering in Health Systems, Okayama University), Toshihiko Kiwa (Advanced Electro Measurement Technology Lab. Graduate School of Interdisciplinary Science and Engineering in Health Systems, Okayama University), Kenji Kondo (RICOH Electronic Devices Co.), Takuya Takahashi (RICOH Electronic Devices Co.), Naohiro Ueda (RICOH Electronic Devices Co.), Keiji Tsukada (Advanced Electro Measurement Technology Lab. Graduate School of Interdisciplinary Science and Engineering in Health Systems, Okayama University)

キーワード: 水素センサ，Pt超薄膜，外乱影響低減，温度依存性　　hydrogen sensor，Pt ultra-thin film，Improvement of environmental resistance，temperature dependence

要約(英語): Hydrogen gas poses risks of gas leakage and explosion because the size of hydrogen molecule is very small, and its wide range of inflammability (4-75% in air). Therefore, a high-performance hydrogen sensor is indispensable for the widespread safe use of hydrogen energy. In this study, environmental resistance is improved by optimizing the current drive method of Pt ultra-thin film hydrogen sensor. The sensor output was stable even if the gas flow around the sensor changed by driving at the low current (1 mA). In addition, the sensitivity was sufficient under low current drive.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.140 No.4 （2020）

本誌掲載ページ: 92-96 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/140/4/140_92/_article/-char/ja/