高感度・高ダイナミックレンジを実現する集積化ハイブリッドMEMS水素センサ

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2020/07/01

タイトル(英語): Integrated Hybrid MEMS Hydrogen Sensor with High Sensitivity and High Dynamic Range

著者名: 林　裕美（（株）東芝 研究開発センター），山﨑　宏明（（株）東芝 研究開発センター），増西　桂（（株）東芝 研究開発センター），小野　大騎（（株）東芝 研究開発センター），齋藤　友博（（株）東芝 研究開発センター），中村　直文（（株）東芝 研究開発センター），小島　章弘（（株）東芝 研究開発センター）

著者名(英語): Yumi Hayashi (Corporate Research & Development Center, Toshiba Corporation), Hiroaki Yamazaki (Corporate Research & Development Center, Toshiba Corporation), Kei Masunishi (Corporate Research & Development Center, Toshiba Corporation), Daiki Ono (Corporate Research & Development Center, Toshiba Corporation), Tomohiro Saito (Corporate Research & Development Center, Toshiba Corporation), Naofumi Nakamura (Corporate Research & Development Center, Toshiba Corporation), Akihiro Kojima (Corporate Research & Development Center, Toshiba Corporation)

キーワード: 水素センサ，容量型，熱伝導型，高ダイナミックレンジ，低消費電力，PdCuSi金属ガラス　　hydrogen sensor，capacitive，thermal conductivity，high dynamic range，low power consumption，PdCuSi metallic glass

要約(英語): This paper discusses an integrated hybrid MEMS hydrogen sensor that detects hydrogen in the range from 5 ppm to 100 vol%. The sensor is a single chip comprising both capacitive and thermal conductivity hydrogen sensors that can be fabricated simultaneously using the same process flow. The capacitive sensor detected hydrogen at concentrations as low as 5 ppm without a heater. The thermal conductivity sensor measured high hydrogen concentrations and had a low power consumption of several tens of milliwatts. The integrated hybrid MEMS hydrogen sensor showed a high gas selectivity.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.140 No.7 （2020） 特集：第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文

本誌掲載ページ: 158-164 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/140/7/140_158/_article/-char/ja/