可変3DキラルTHzメタマテリアルのための機械的変形方法の研究

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2020/07/01

タイトル(英語): Mechanically Deformable 3D Chiral THz Metamaterial

著者名: 小菅　拓也（電気通信大学），菅　哲朗（電気通信大学）

著者名(英語): Takuya Kosuge (The University of Electro-Communications), Tetsuo Kan (The University of Electro-Communications)

キーワード: THz，メタマテリアル，キラル，スパイラル，偏光フィルタ，パリレン接合　　THz，metamaterial，chiral，spiral，polarizing filter，Parylene bonding

要約(英語): This paper reports an actuation method of MEMS chiral metamaterial that transforms a two-dimensional MEMS spiral with diameter 150 μm to a three-dimensional spiral by individually pulling the center of spirals. The spiral dimension was designed to work in THz electromagnetic frequency. MEMS spirals were manufactured by bonding the central part of spirals and a Si wafer with Parylene bonding, and were deformed by lifting the Si wafer. It was confirmed that spirals were stably pulled by amplitude of 60 μm at the maximum by relatively separating the spiral and the Si wafer.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.140 No.7 （2020） 特集：第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文

本誌掲載ページ: 170-176 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/140/7/140_170/_article/-char/ja/