ゴムストレッチ基板とコルゲーションマシーンを用いた高伸縮性微小縦波構造銅配線の作製

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2020/07/01

タイトル(英語): Highly Stretchable Vertical-wavy Cu Interconnects Fabricated by a Micro-corrugation Machine and a Pre-stretched Silicone Rubber Substrate

著者名: 奥田　真司（東京大学），山本　道貴（東京大学），高松　誠一（東京大学），伊藤　寿浩（東京大学）

著者名(英語): Shinji Okuda (The University of Tokyo), Michitaka Yamamoto (The University of Tokyo), Seiichi Takamatsu (The University of Tokyo), Toshihiro Itoh (The University of Tokyo)

キーワード: ストレッチャブル配線，コルゲート加工，縦波構造　　Stretchable Cu interconnects，Corrugation process，Vertical wavy structure

要約(英語): We have developed a new fabrication method of stretchable interconnects using a micro-corrugation machine and a pre-stretched silicone rubber substrate. The fabricated interconnects exhibited >200% stretchability, and their electric resistance was lower than 1 Ω/cm even under the stretch condition. Finally, the stretchable LED circuit with our micro wavy Cu interconnects was demonstrated.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.140 No.7 （2020） 特集：第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文

本誌掲載ページ: 186-187 p

原稿種別: 研究開発レター／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/140/7/140_186/_article/-char/ja/