電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.140 No.8 （2020）

カテゴリ: 論文誌(号単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2020/08/01

タイトル(英語): IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.140 No.8 (2020)

著者リスト: ・RF Power Dependence on Structural and Electrical Properties of Cu Thin Films on a Glass Substrate Prepared Using Magnetron Sputtering with Multipolar Magnetic Plasma Confinement：Taro Katayama，Hiroshi Toyota_x000D_ ・Non-Mutative Cell Viability Measurement on an IGZO Transparent Thin Film Transistor Electrode Array：Grant A. Cathcart，Agnes Tixier-Mita，Satoshi Ihida，Anne-Claire Eiler，Hiroshi Toshiyoshi_x000D_ ・パートナーロボットへの応用を目指した集積化力覚センサ素子によるモーメント検知：藤吉　基弘，畑　良幸，美馬　一博，平野　栄樹，室山　真徳，田中　秀治，中山　貴裕_x000D_ ・TiNを用いた梁構造マイクロヒータの作製と評価：伊藤　浩，川又　由雄，新國　広幸_x000D_ ・分岐光線路における損失変動検出方法に関する研究：松田　健太郎，遠藤　隆昭，長瀬　亮

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/140/8/_contents/-char/ja/