結晶Se薄膜マイクロフォトダイオードを用いたフィルム型フレキシブル光センサの作製とその応用

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2020/12/01

タイトル(英語): Se/Ga2O3 Micro Photodiodes on Flexible Film for Visible Light Sensing

著者名: 足立　悠輔（立命館大学 理工学部 機械工学科），小林　大造（立命館大学 理工学部 機械工学科）

著者名(英語): Yusuke Adachi (Ritsumeikan University), Taizo Kobayashi (Ritsumeikan University)

キーワード: 結晶セレン薄膜，フォトダイオード，フレキシブル，半導体微細加工，マイクロ可視光センサ　　crystalized selenium，photodiode，flexible，micromachining，visible light sensor

要約(英語): In this paper, Ga2O3/Se heterojunction photodiodes at a thickness of less than 1 μm are patterned on a transparent polyimide film. Photodiode patterns enabled simultaneous and multi detection of light intensity. Tiny, light- weight, and flexible features of the developed sensors are also attractive for practical applications such as sensors for wearable and/or robotics systems. Above-mentioned sensors can be attached onto even non-flat surfaces of human finger and/or movable parts of robotic systems. The details of film growth processes and patterning of Ga2O3/Se photodiodes on a polyimide film are also discussed.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.140 No.12 （2020）

本誌掲載ページ: 363-368 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/140/12/140_363/_article/-char/ja/