電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.141 No.4 （2021）

カテゴリ: 論文誌(号単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2021/04/01

タイトル(英語): IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.141 No.4 (2021)

著者リスト: ・特定小電力無線局対応パッシブ無線SAW温度センサの8ch.化：工藤　高裕，古市　卓也，窪田　正雄，門田　道雄，田中　秀治，森田　晃_x000D_ ・狭ピッチ両端支持梁のシリコンプローブ製造プロセスの検討：金丸　昌敏，青野　宇紀，河野　竜治，細金　敦_x000D_ ・反応性イオンエッチングを用いた極薄チタンウェハのドライナノ研磨技術の開発：千野　輝弥，渡邉　悠太，月山　陽介，寒川　雅之，安部　隆_x000D_ ・誘電泳動速度計測によるがん細胞の誘電特性の基礎検討：郭　宇桐，八木　一平，内田　諭，杤久保　文嘉，高野　雅代，脇坂　嘉一，円城寺　隆治_x000D_ ・圧縮センシングに基づいたガス分布マッピング：稲垣　理也，松倉　悠，岩井　大輔，佐藤　宏介

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/141/4/_contents/-char/ja/