1 MHz空中超音波マイクロアレイセンサの開発

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2021/05/01

タイトル(英語): Development of Micro Array Sensor for Aerial Ultrasonic of 1 MHz

著者名: 田中　恒久（地方独立行政法人大阪産業技術研究所），中山　健吾（地方独立行政法人大阪産業技術研究所），村上　修一（地方独立行政法人大阪産業技術研究所）

著者名(英語): Tsunehisa Tanaka (Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology), Kengo Nakayama (Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology), Shuichi Murakami (Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology)

キーワード: 超音波センサ，MEMS，P(VDF/TrFE)，ダイアフラム，薄膜，共振周波数　　ultrasonic sensor，MEMS，P(VDF/TrFE)，diaphragm，thin film，resonant frequency

要約(英語): We developed a MEMS ultrasonic array sensor that is capable of detecting 1 MHz airborne ultrasonic waves for use in devices for inspecting the interior of objects. The sensor is an array of vibrating membranes, each consisting of a metal lower electrode, a platinum upper electrode, and a polymer ferroelectric layer between them. In this study, two kinds of electrode materials, aluminum or gold, were used for the lower electrode to investigate how they affect the characteristics of such high resonant-frequency sensors. The sensor using aluminum showed about four times better sensitivity than that using gold.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.141 No.5 （2021） 特集：令和2年度センサ・マイクロマシン部門総合研究会

本誌掲載ページ: 125-133 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/141/5/141_125/_article/-char/ja/