電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.141 No.7 （2021） 特集：第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文

カテゴリ: 論文誌(号単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2021/07/01

タイトル(英語): IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.141 No.7 (2021) Special Issue on “The Awarded Papers of The 37th Sensor Symposium”

著者リスト: ・第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文特集号によせて：積　知範，河野　剛士_x000D_ ・犠牲層Poly-Si膜を併用したシリコンエッチングプロセスによる熱式MEMSフローセンサチップの性能向上：笠井　隆，桃谷　幸志，中野　優，中尾　秀之_x000D_ ・ニューロン細胞外電位の安定的計測を目的とするSiN多孔膜を介した階層型共培養：吉田　悟志，安田　隆_x000D_ ・分極制御によるTiO2薄膜の光応答型濡れ性変化の促進：瀬川　悠太，小林　大造_x000D_ ・低閾値整流昇圧回路を用いた非定常振動下における振動発電：遠山　幸也，本間　浩章，関屋　英彦，年吉　洋，山根　大輔_x000D_ ・微粒子誘電泳動DNA検出法による新型コロナウイルス遺伝子の検出：中野　道彦，稲葉　優文，末廣　純也_x000D_ ・経上皮電気抵抗測定の高精度化に向けたOrgan-on-a-Chipの設計法：宮崎　貴史，平井　義和，亀井　謙一郎，土屋　智由，田畑　修_x000D_ ・MEMS振動発電の出力最大化チューニング手法：三屋　裕幸，芦澤　久幸，下村　典子，本間　浩章，橋口　原，年吉　洋_x000D_ ・3Dリソグラフィ法により作製した微細構造を接触界面に有するトライボ発電デバイス：柳田　幸祐，飯田　泰基，本間　浩章，橋口　原，年吉　洋，鈴木　孝明_x000D_ ・Fabrication of Tactile Display Mechanism Using Arrayed SMA Thick Film Actuator and Si TSV Layer with Individually Connecting Diode：Ryo Saito，Yusuke Kimura，Jiale Xu，Takashi Mineta_x000D_ ・赤外線センサ向け静電ねじり振動子の共振周波数電気測定：畠垣　知弥，熊谷　慎也，佐々木　実

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/141/7/_contents/-char/ja/