マイクロ配列電極を用いた局所増感型水晶複素容量センサの開発

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2021/08/01

タイトル(英語): Development of Quartz Crystal Complex Capacitive Sensor with Microelectrode Array for Sensitization

著者名: 橋本　祐希（新潟大学大学院 自然科学研究科），灰野　貴晶（新潟大学大学院 自然科学研究科），寒川　雅之（新潟大学大学院 自然科学研究科），安部　隆（新潟大学大学院 自然科学研究科）

著者名(英語): Yuki Hashimoto (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Takaaki Haino (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Masayuki Sohgawa (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Takashi Abe (G

キーワード: マイクロ配列電極，局所増感，電界集中，非接触，水晶　　microelectrode array，local enhancement，electric-field concentration，contactless，quartz crystal

要約(英語): In this paper, we report a development of quartz crystal complex capacitive sensor with microelectrode array for local detection of liquid sample. This sensor is composed of the sensing capacitor (SC) with microelectrode array and quartz crystal resonator (QCR). It is a contactless capacitive sensor using out-of-plane electric field of a planer sensing capacitor. We succeeded in confining the electric field by placing microelectrode array on the SC and improving the spatial resolution of the sensor. This sensor enables local capacitive detection of target materials. This sensor is expected to be applied to the detection system of μ-TAS.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.141 No.8 （2021）

本誌掲載ページ: 279-283 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/141/8/141_279/_article/-char/ja/