形状記憶合金のマイクロ・ナノデバイス応用

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2021/09/01

タイトル(英語): Application for Micro/Nano Devices using Shape Memory Alloys

著者名: 櫻井　淳平（東海国立大学機構 名古屋大学 工学研究科 マイクロ・ナノ機械理工学専攻）

著者名(英語): Junpei Sakurai (Nagoya University)

キーワード: 形状記憶合金，形状記憶効果，超弾性，弾性熱量効果　　shape memory alloys，shape memory effect，superelasticity，electrocaloric effect

要約(英語): The shape memory alloys (SMAs) are known to exhibit shape memory effect and super elasticity. Thus far, micro electro mechanical systems (MEMS) devices and micro actuator using shape memory effect were developed. Recently, the super elasticity and electrocaloric effect are attracted, some microdevices using those effect have already been reported. In this review, the recent progress in the MEMS field of the SMAs was described.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.141 No.9 （2021） 特集：新素材を用いたセンサ・アクチュエータ技術とその応用

本誌掲載ページ: 300-303 p

原稿種別: 解説／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/141/9/141_300/_article/-char/ja/