ガラスの温冷感評価のためのヒータ集積型MEMS触覚センサの作製

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2021/10/01

タイトル(英語): Fabrication of Heater-Integrated MEMS Tactile Sensor for Evaluation of Warm and Cold Sensation by Touching Glass

著者名: 恩田　尚隆（新潟大学工学部），小塚　貴暁（新潟大学工学部），安部　隆（新潟大学工学部），一色　眞誠（AGC（株）材料融合研究所），留野　暁（AGC（株）材料融合研究所），寒川　雅之（新潟大学工学部）

著者名(英語): Naotaka Onda (Niigata University), Takaaki Kozuka (Niigata University), Takashi Abe (Niigata University), Masanobu Isshiki (AGC Inc.), Satoru Tomeno (AGC Inc.), Masayuki Sohgawa (Niigata University)

キーワード: 触覚センサ，温覚センサ，エラストマ，集積化ヒータ，温冷感評価 tactile sensor，temperature sensor，elastomer，on-chip heater integration，warm-cool evaluation

要約(英語): The paper addresses fabrication and characterization of a MEMS tactile sensor sensitive to force and temperature with an on-chip heater and a contact part of thermally conductive elastomer. The temperature response of this sensor due to heat transfer when it was in contact with the glass plate was measured. As a result, it is demonstrated that fabricated sensor can detect thermally difference due to differences in the surface treatment of the glass.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.141 No.10 （2021）

本誌掲載ページ: 343-348 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/141/10/141_343/_article/-char/ja/