振動型MEMSエナジーハーベスタのための強磁性NdFeB・圧電PZTヘテロ集積

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2022/04/01

タイトル(英語): Hetero Integration of Ferromagnetic NdFeB and Piezoelectric PZT for Vibratory MEMS Energy Harvesting Devices

著者名: 武田　光平（兵庫県立大学），七里　愛（兵庫県立大学），神田　健介（兵庫県立大学），藤田　孝之（兵庫県立大学），前中　一介（兵庫県立大学）

著者名(英語): Kohei Takeda (University of Hyogo), Ai Shichiri (University of Hyogo), Kensuke Kanda (University of Hyogo), Takayuki Fujita (University of Hyogo), Kazusuke Maenaka (University of Hyogo)

キーワード: 圧電MEMS，PZT，NdFeB，ヘテロ集積　　PiezoMEMS，PZT，NdFeB，Hetero integration

要約(英語): This paper addresses the hetero-integration of ferromagnetic NdFeB and piezoelectric PZT thin films for MEMS energy harvesting devices. Lamination structure of PZT and NdFeB is achieved by using barrier and passivation layer of SrRuO3/SiO2 thin films. The magnetic property of NdFeB is comparable to those of conventional one even after a high temperature deposition of PZT thin film. Ferroelectric hysteresis curve of PZT can be also observed. Individual pattering of PZT and NdFeB thin films in other place on a full wafer with a diameter of 100 mm is also examined for the future batch fabrication. For the batch fabrication test, the electrical and piezoelectric properties of the PZT/Si cantilever are comparable to those without NdFeB deposition process. A good magnetic property is also observed. These results demonstrate that the microfabrication process of NdFeB and PZT can be integrated at the level of batch fabrication.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.142 No.4 （2022）

本誌掲載ページ: 56-62 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/142/4/142_56/_article/-char/ja/