超電導電力貯蔵装置を小型化するコイル向け全長100 m級スパイラル溝形成

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2022/05/01

タイトル(英語): 100 m-level Spiral Silicon Micro-Trenches with 3-Step Smooth Sidewalls to Deposit Superconducting Material for Miniaturized Magnetic Energy Storage

著者名: 佐々木　実（豊田工業大学），盧　柱亨（関東学院大学 材料・表面工学研究所），高井　治（関東学院大学 材料・表面工学研究所），元廣　友美（名古屋大学 未来社会創造機構）

著者名(英語): Minoru Sasaki (Toyota Technological Institute), Joo-Hyong Noh (Materials and Surface Engineering Research Institute, Kanto Gakuin University), Osamu Takai (Materials and Surface Engineering Research Institute, Kanto Gakuin University), Tomoyoshi Motohiro (Institutes of Innovation for Future Society, Nagoya University)

キーワード: 100 m級スパイラル溝，断線フリー，3段溝，平滑化，小型化，超電導磁気エネルギー貯蔵システム (SMES)_x000D_　　100 m-level spiral trench，disconnection-free，3-step trench，smoothening，miniaturization，superconducting magnetic energy storage (SMES)

要約(英語): A 100 m-level spiral trench over 4-inch wafer is fabricated for the coil of the superconducting magnetic energy storage. 3-stepped structure can reduce the disconnection risk caused by the random defects. Si etching scallop is decreased and smoothened by the oxidization and the grown SiO2 etching. This improves the superconducting film quality deposited later. The fabricated coils are 102 m-long single spiral for series coil and 89 m-long 7-parallel spirals for parallel coil.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.142 No.5 （2022） 特集：令和3年度センサ・マイクロマシン部門総合研究会

本誌掲載ページ: 78-84 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/142/5/142_78/_article/-char/ja/