物理的・化学的耐久性兼備フッ素エラストマ/PDMS封止カンチレバー型触覚センサ

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2022/05/01

タイトル(英語): Tactile Sensor with Microcantilevers Embedded in Fluoroelastomer/PDMS for Physical and Chemical Resistance

著者名: 髙橋　佑司（新潟大学工学部），髙橋　拓海（新潟大学工学部），安部　隆（新潟大学工学部），野間　春生（立命館大学　情報理工学部），寒川　雅之（新潟大学工学部）

著者名(英語): Yuji Takahashi (Niigata University), Takumi Takahashi (Niigata University), Takashi Abe (Niigata University), Haruo Noma (College of Information Science and Engineering, Ritsumeikan University), Masayuki Sohgawa (Niigata University)

キーワード: MEMSセンサ，触覚センサ，シリコーンエラストマ，フッ素エラストマ，物理的耐久性，化学的耐久性_x000D_　　MEMS sensor，tactile sensor，silicone elastomer，fluoroelastomer，physical resistance，chemical resistance

要約(英語): This paper addresses physical and chemical resistance evaluation of tactile sensors. We have developed cantilever-type MEMS tactile sensors embedded in the elastomer. In this work, we used a combination of silicone elastomer with excellent mechanical properties and fluoroelastomer with excellent chemical resistance. As a new embedding method for the sensor, we devised a method of embedding with PDMS with low creep and coating with a fluoroelastomer for surface protection. We further performed three evaluations to demonstrate the physical and chemical resistance of sensors. Consequently, using the devised method, we have demonstrated that the sensor with both physical and chemical resistance are feasible.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.142 No.5 （2022） 特集：令和3年度センサ・マイクロマシン部門総合研究会

本誌掲載ページ: 91-96 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/142/5/142_91/_article/-char/ja/