旋回戻りコイル構造MEMSロゴスキーコイル型電流センサ

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2022/08/01

タイトル(英語): MEMS Rogowski Coil Current Sensor with Spiral Return Coil

著者名: 渡部　善幸（山形県工業技術センター），加藤　睦人（山形県工業技術センター），矢作　徹（山形県工業技術センター），村山　裕紀（山形県工業技術センター），山田　直也（山形県工業技術センター），吉田　賢一（新電元工業（株）），前原　謙一（新電元工業（株）），福田　祐介（新電元工業（株）），指田　和之（新電元工業（株）），池田　克弥（新電元工業（株）），池田　康亮（新電元工業（株）），竹森　俊之（新電元工業（株））

著者名(英語): Yoshiyuki Watanabe (Yamagata Research Institute of Technology), Mutsuto Kato (Yamagata Research Institute of Technology), Toru Yahagi (Yamagata Research Institute of Technology), Hiroki Murayama (Yamagata Research Institute of Technology), Naoya Yamada (Yamagata Research Institute of Technology), Kenichi Yoshida (Shindengen Electric Manufacturing Co., Ltd.), Kenichi Maehara (Shindengen Electric Manufacturing Co., Ltd.), Yusuke Fukuda (Shindengen Electric Manufacturing Co., Ltd.), Kazuyuki Sashida (Shindengen Electric Manufacturing Co., Ltd.), Katsuya Ikeda (Shindengen Electric Manufacturing Co., Ltd.), Kosuke Ikeda (Shindengen Electric Manufacturing Co., Ltd.), Toshiyuki Takemori (Shindengen Electric Manufacturing Co., Ltd.)

キーワード: MEMS，ロゴスキーコイル，電流センサ，TSV，戻りコイル_x000D_　　MEMS，Rogowski coil，current sensor，TSV，return coil

要約(英語): We have developed a MEMS Rogowski coil current sensor with spiral return coil. The Rogowski coil is formed on a silicon substrate clockwise and counterclockwise from the edges, for current detection and external magnetic noise compensation (device size 10×10×0.3 mm3, spiral coil 135 turns, via diameter 100 μm). When the slew rate (di/dt) was kept constant at 10 A/μs, and the current was changed by 5 A up to 40 A, MEMS Rogowski coil could detect current linearly. When the slew rate was changed by 10 A/μs up to 100 A/μs, it was found that the MEMS Rogowski coil could detect current almost linearly following the reference sensor. Hence, external noise compensation by the return coil has been confirmed.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.142 No.8 （2022）

本誌掲載ページ: 197-204 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/142/8/142_197/_article/-char/ja/