電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.142 No.9 （2022） 特集：次世代社会基盤を支えるIoT，センシングシステムのための要素技術

カテゴリ: 論文誌(号単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2022/09/01

タイトル(英語): IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.142 No.9 (2022) Special Issue on “The Technology of IoT and Sensing Systems for Next-generation Infrastructure”

著者リスト: ・「次世代社会基盤を支えるIoT，センシングシステムのための要素技術」――特集号によせて――：肥後　昭男_x000D_ ・Double-Deck MEMS Electrostatic Vibrational Energy Harvester with Airborne Interconnection：Hiroaki Honma，Hiroshi Toshiyoshi_x000D_ ・Problems in Fabrication of Metal Pads for Capacitive MEMS Using Hands-on Open Facility：Linxin Zhang，Takashiro Tsukamoto，Shuji Tanaka_x000D_ ・Review of Magnetic Resonance Force Sensors Based on Nanomechanical Cantilever：Masaya Toda，Gaopeng Xue，Takahito Ono_x000D_ ・Edge Quality Control of an Optical Racetrack Resonator by Character Projection/Variable-shaped Beam Method to Optimize Pattern Approximation in F7000S-VD02：Akio Higo，Tomoki Sawamura，Makoto Fujiwara，Eric Lebrasseur，Ayako Mizushima，Etsuko Ota，Yukinori Ochiai，Taro Arakawa，Yoshio Mita_x000D_ ・マイクロ毛細管チャネルを用いた平滑表面を有するカラーフィルタパターン作製プロセス：渡邊　朋也，道垣内　公介，足立　悠輔，小林　大造_x000D_ ・Lorentz Force Frequency Modulated MEMS Magnetometer Using CW/CCW Mode Separator on Quad Mass Resonator：Linxin Zhang，Takashiro Tsukamoto，Shuji Tanaka_x000D_ ・ハーフインチ水晶ウエハ上へ成膜したAlN薄膜上への弾性表面波デバイスアレイの作製：永野　朝日，北村　奏人，野田　周一，村上　直，井口　航平，クンプアン　ソマワン，原　史朗

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/142/9/_contents/-char/ja/