シリコーンオイルとパリレン膜を内蔵した低侵襲計測のための針型圧力センサ

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2023/07/01

タイトル(英語): Needle-Type Pressure Sensor with Silicone Oil and Parylene Membrane inside for Minimally Invasive Measurement

著者名: 岸本　卓大（慶應義塾大学 理工学部機械工学科），揚妻　正和（自然科学研究機構 生理学研究所／量子科学技術開発研究機構 量子生命科学研究所），星野　歩子（東京工業大学 生命理工学院生命理工系／東京大学 先端科学技術研究センター），高橋　英俊（慶應義塾大学 理工学部機械工学科）

著者名(英語): Takuto Kishimoto (Keio University), Masakazu Agetsuma (National Institute for Physiological Sciences/National Institutes for Quantum Science and Technology), Ayuko Hoshino (Tokyo Institute of Technology/The University of Tokyo), Hidetoshi Takahashi (Keio University)

キーワード: 圧力センサ，針，MEMS，医療用センサ，ピエゾ抵抗カンチレバー　　pressure sensor，needle，MEMS，medical sensor，piezoresistive cantilever

要約(英語): This paper addresses a pressure sensor for body pressure measurement. Many pressure sensors have been developed for disease treatment in the medical field. However, these sensors require inserting electronic components and other sensor elements via surgical operations, so the measurement physically burdens patients. Hence, we proposed a needle-type pressure sensor using MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) cantilever. The sensor has a needle part with a thin membrane on the tip and is filled with incompressible fluid inside. The fractional resistance of the built-in piezoresistive cantilever varies according to the pressure change applied to the needle tip. We can measure body fluid pressure with minimal surgery by inserting a simple needle into the target organ. Because the fabricated sensor responded to pseudo-body pressure changes, it was suggested that the fabricated needle-type pressure sensor could detect pressure inside the body.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.143 No.7 （2023） 特集：第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文

本誌掲載ページ: 148-155 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/143/7/143_148/_article/-char/ja/