常温ウエハ接合によりSi上に集積された低駆動電圧型LNOI光変調器

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2023/07/01

タイトル(英語): Low Drive Voltage LNOI Optical Modulator Arrays Integrated on Si Platform by Wafer-Level Room Temperature Bonding

著者名: 渡辺　要（九州大学），村上　誠悟（九州大学），山口　祐也（情報通信研究機構 ネットワーク研究所），菅野　敦史（情報通信研究機構 ネットワーク研究所／名古屋工業大学工学研究科 電気・機械工学専攻），多喜川　良（九州大学）

著者名(英語): Kaname Watanabe (Kyushu University), Seigo Murakami (Kyushu University), Yuya Yamaguchi (National Institute of Information and Communications Technology (NICT)), Atsushi Kanno (National Institute of Information and Communications Technology (NICT)/Nagoya Institute of Technology), Ryo Takigawa (Kyushu University)

キーワード: 常温接合，光変調器，LNOI，ニオブ酸リチウム，ウエハレベル接合　　room-temperature bonding，optical modulator，LN on Insulator，LiNbO3，wafer bonding

要約(英語): In this paper, our room-temperature bonding method using activated Si atomic layer demonstrated wafer-level hetero integration of thin film LiNbO3 on insulator (LNOI) electro-optical modulator arrays on Si. The integration of LNOI photonics with Si, which is a promising platform for LSI, MEMS, and Si photonics, is expected to produce highly functional and multi-functional opto-electro-mechanical platforms.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.143 No.7 （2023） 特集：第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文

本誌掲載ページ: 202-203 p

原稿種別: 研究開発レター／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/143/7/143_202/_article/-char/ja/