片持ちはり振動型エナジーハーベスタのための応力集中緩和構造

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2023/08/01

タイトル(英語): Stress Concentration Relief Structure Using Micro-Loading Effect for Cantilever Beam Vibration Energy Harvesters

著者名: 横田　隆人（兵庫県立大学），神田　健介（兵庫県立大学），藤田　孝之（兵庫県立大学），前中　一介（兵庫県立大学）

著者名(英語): Takahito Yokota (University of Hyogo), Kensuke Kanda (University of Hyogo), Takayuki Fujita (University of Hyogo), Kazusuke Maenaka (University of Hyogo)

キーワード: 応力集中緩和，フィレット，マイクロローディング効果，エッチングレート制御，等応力エナジーハーベスタ　　stress concentration relief，fillet，micro-loading effect，etching rate control，uniform stress energy harvester

要約(英語): This paper proposes the stress concentration relief fillet of the MEMS cantilever piezoelectric energy harvester (PEH). Stresses at the sharp corner of the beams are quite high due to concentrated stresses, and lead to fracture. We developed a cantilever with the fillet structures using the micro-loading effect. Compared to the typical cantilever PEH, the fracture strength of the beam doubled due to the fillets.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.143 No.8 （2023）

本誌掲載ページ: 256-261 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/143/8/143_256/_article/-char/ja/