可変焦点モアレメタレンズのためのMEMS回転駆動機構の製作および評価

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2023/09/01

タイトル(英語): Fabrication and Evaluation of a Prototype MEMS Rotary Drive Mechanism for the Rotational Varifocal Moire Metalens

著者名: 野村　祐真（東京農工大学），小川　主税（東京農工大学），池沢　聡（東京農工大学），岩見　健太郎（東京農工大学）

著者名(英語): Yuma Nomura (Tokyo University of Agriculture and Technology), Chikara Ogawa (Tokyo University of Agriculture and Technology), Satoshi Ikezawa (Tokyo University of Agriculture and Technology), Kentaro Iwami (Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: メタレンズ，メタサーフェス，ミアンダ構造，MEMS静電アクチュエータ，櫛歯電極　　metalens，metasurface，meander structure，electrostatic MEMS actuators，interdigitated electrode

要約(英語): Variable-focus lenses need to be thinner. Metalenses, which are ultra-thin lenses, are attracting attention because they can achieve variable focal lengths by rotating two lenses relative to each other and integrating them with thin actuators to realize thin varifocal metalenses. We have fabricated a MEMS rotation stage composed of a comb-drive actuator and a meander structure spring and confirmed light focusing by the electromagnetic simulation of the lens.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.143 No.9 （2023） 特集：ライフサイエンス応用のためのマイクロセンサ，センサシステムと要素技術

本誌掲載ページ: 279-284 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/143/9/143_279/_article/-char/ja/