電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.143 No.12 （2023）

カテゴリ: 論文誌(号単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2023/12/01

タイトル(英語): IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.143 No.12 (2023)

著者リスト: ・温度・圧力変動環境下に対応した熱伝導式絶対湿度センサ：中野　洋，松本　昌大，小野瀬　保夫_x000D_ ・セラミック基台を用いた高感度Cr-N薄膜圧力センサ：皆川　直祐，水尾　仙人，丹羽　英二_x000D_ ・ナノギャップデバイスによる真空度測定の検討：小宮　一毅，永田　晃基，山岡　英彦，伊達　修一，宮下　惟人，楊　明

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/143/12/_contents/-char/ja/