ピエゾ抵抗式半導体圧力センサ開発の道のり

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2024/02/01

タイトル(英語): Road to Development of Piezoresistive Semiconductor Pressure Sensor

著者名: 杉山　進（立命館大学）

著者名(英語): Susumu Sugiyama (Ritsumeikan University)

キーワード: ピエゾ抵抗式半導体圧力センサ，ひずみゲージ，マイクロマシニング，拡散リード，受圧ダイヤフラム，集積化センサ piezoresistive semiconductor pressure sensor，strain gage，micromachining，diffused lead，pressure diaphragm，integrated sensor

要約(英語): Road to development of the piezoresistive semiconductor pressure sensor is verified retroactively. There was a sixty year's history of the past. In this paper, it is explored the path of technological innovation in semiconductor pressure sensors, which are the basis of pressure sensors that are indispensable for automobiles today.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.144 No.2 （2024）

本誌掲載ページ: 25-29 p

原稿種別: 解説／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/144/2/144_25/_article/-char/ja/