多軸触覚センサの接触部突起位置に対する感度依存性解析とそれに基づく検知素子設計

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2024/05/01

タイトル(英語): Sensitivity Dependence Analysis of Multi-axis Tactile Sensors on the Bump Position of Contact Area and Sensing Device Design Based on the Analysis

著者名: 若林　陽彩（新潟大学 工学部），門田　秀人（新潟大学 工学部），安部　隆（新潟大学 工学部），寒川　雅之（新潟大学 工学部）

著者名(英語): Hiiro Wakabayashi (Faculty of Engineering, Niigata University), Hideto Kadota (Faculty of Engineering, Niigata University), Takashi Abe (Faculty of Engineering, Niigata University), Masayuki Sohgawa (Faculty of Engineering, Niigata University)

キーワード: 触覚センサ，カンチレバー，多軸方向，MEMS，感度依存性　　tactile sensor，cantilever，multi-axial，MEMS，sensitivity dependence

要約(英語): In this study, the relationship between the position of the cantilever as a sensing element and the sensitivity of the tactile sensor was analyzed to find the sensitivity dependence for perpendicular and shear forces. The fabricated tactile sensor based on the analysis shows the sensitivity as analyzed and it is expected that highly accurate multi-axial force detection will be possible.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.144 No.5 （2024） 特集：令和5年度センサ・マイクロマシン部門総合研究会

本誌掲載ページ: 77-81 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/144/5/144_77/_article/-char/ja/