光学積層膜における偏光干渉を利用した広濃度対応型水素ガスセンサの開発

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2024/06/01

タイトル(英語): Optical Cavity Type of Sensor Elements for a Wide Range of Hydrogen Gas Detection

著者名: 山根　治起（秋田県産業技術センター），梁瀬　智（秋田県産業技術センター），高橋　幸希（Tianma Japan（株）），世古　暢哉（Tianma Japan（株）），重村　幸治（Tianma Japan（株））

著者名(英語): Haruki Yamane (Akita Industrial Technology Center), Satoshi Yanase (Akita Industrial Technology Center), Koki Takahashi (Tianma Japan, Ltd.), Nobuya Seko (Tianma Japan, Ltd.), Koji Shigemura (Tianma Japan, Ltd.)

キーワード: 水素ガスセンサ，光検知方式，光学積層膜，ファブリペロー・キャビティ，偏光干渉，水素濃度計測　　hydrogen gas sensor，optical type of sensor element，optical stacked film，Fabry-Perot cavity，optical polarization interference，hydrogen concentration monitoring

要約(英語): We have demonstrated a wide range of hydrogen gas detection from 200 ppm to 100% at room temperature by using optical cavity type of sensor elements with polarization interference. This explosion-proof type of sensor element provides a hydrogen monitoring system in flammable environments for gaseous fuels.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.144 No.6 （2024）

本誌掲載ページ: 117-122 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/144/6/144_117/_article/-char/ja/