固有値解析によるMEMS構造の非線形周波数応答予測

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2024/08/01

タイトル(英語): Prediction of Nonlinear Frequency Response by Using Modal Analysis

著者名: 赤松　儀優（兵庫県立大学），神田　健介（兵庫県立大学），前中　一介（兵庫県立大学）

著者名(英語): Yoshimasa Akamatsu (University of Hyogo), Kensuke Kanda (University of Hyogo), Kazusuke Maenaka (University of Hyogo)

キーワード: 非線形周波数応答，有限要素解析，数値計算，MEMS両持ちはり，初期たわみ　　nonlinear frequency response，finite element analysis，numerical calculation，both-end fixed MEMS beams，initial deformation

要約(英語): A novel method for predicting nonlinear frequency response of MEMS structures is proposed in this study. The relationship between the resonant angular frequency and initial deformation of structure, which is easily obtained from modal analyses, is used for the nonlinear restoring force term of the motion of equation (MOE). By calculating chirp response of the MOE numerically, the nonlinear frequency response can be obtained. The predicted frequency response of a MEMS both-end-fixed beam with initial deformation is coincident with that of the fabricated device.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.144 No.8 （2024）

本誌掲載ページ: 231-236 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/144/8/144_231/_article/-char/ja/