ステンレス基板上に形成したBaTiO3厚膜の圧電縦効果による振動発電特性

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2024/11/01

タイトル(英語): Generation Energy by Vibration using Piezoelectric Longitudinal Effect of BaTiO3 Thick Film Formed on Stainless Steel Substrate

著者名: 川上　祥広（（公財）電磁材料研究所）

著者名(英語): Yoshihiro Kawakami (Research Institute for Electromagnetic Materials)

キーワード: BaTiO3，圧電縦効果，櫛歯電極，厚膜，振動発電，ステンレス基板　　BaTiO3，piezoelectric longitudinal effect，interdigitated electrodes，thick film，generation energy by vibration，stainless-steel

要約(英語): In this paper, we evaluated generation energy by vibration using piezoelectric longitudinal effect of BaTiO3 thick film formed on stainless steel substrate with interdigitated electrodes. It was confirmed that the interdigitated electrodes formed on the surface of BaTiO3 film enables to align the polarization direction to the in-plane direction by forming Al2O3 layer on the surface of the stainless steel and generate energy by vibration due to the piezoelectric longitudinal effect.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.144 No.11 （2024） 特集：化学物質の高次センシングと解析技術

本誌掲載ページ: 364-368 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/144/11/144_364/_article/-char/ja/