エラストマシート封止MEMS触覚センサの曲げ・ねじり応答の封止深度依存性

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2024/11/01

タイトル(英語): Dependence of Response to Bending and Torsional Deformation on Sealing Depth of MEMS Tactile Sensor in Elastomer Sheet

著者名: 若林　陽彩（新潟大学 工学部），南部　泰生（新潟大学 工学部），安部　隆（新潟大学 工学部），野間　春生（立命館大学 情報理工学部），寒川　雅之（新潟大学 工学部）

著者名(英語): Hiiro Wakabayashi (Faculty of Engineering, Niigata University), Taisei Nambu (Faculty of Engineering, Niigata University), Takashi Abe (Faculty of Engineering, Niigata University), Haruo Noma (Faculty of Information Science and Engineering, Ritsumeikan University), Masayuki Sohgawa (Faculty of Engineering, Niigata University)

キーワード: 触覚センサ，MEMS，マイクロカンチレバー，封止深度依存性，エラストマ，自由曲面設置　　tactile sensor，MEMS，microcantilever，dependence on sealing depth，elastomer，installation on free-form surface

要約(英語): In this study, we evaluated the sensor sensitivity of bending and torsion sensing MEMS tactile sensors by the sealing depth of the sensor chip in order to improve the sensitivity by changing the sealing method. We succeeded in establishing a fabrication method by controlling the dimensions of the sensor during sealing process. Therefore, we fabricated sensors with different sealing depths, and the experimental results showed the dependence of sensitivity on the sealing depth.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.144 No.11 （2024） 特集：化学物質の高次センシングと解析技術

本誌掲載ページ: 369-374 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/144/11/144_369/_article/-char/ja/