Introduction of Self Resonance Cancellation Techniques for High Bandwidth and Vibration Suppression of Two-Mass System

カテゴリ: 国際会議

論文No: IS7-1

グループ名: SAMCON2015

発行日: 2016/11/25

著者名(英語): Koichi Sakata Hiroyoshi Asaumi Kazuyuki Hirachi Kazuaki Saiki (Nikon Corporation) Hiroshi Fujimoto (The University of Tokyo)

原稿種別: 英語

PDFファイルサイズ: 939 Kバイト