Dual-Loop Controller Design Considering Robust Vibration Suppression in Piezo-Driven Stages

カテゴリ: 国際会議

論文No: V-8

グループ名: SAMCON2015

発行日: 2016/11/25

著者名(英語): Daisuke Noda Yuki Kamiya Kenta Seki Makoto Iwasaki (Nagoya Institute of Technology)

原稿種別: 英語

PDFファイルサイズ: 305 Kバイト