Hybrid Reluctance Actuator for High-speed Scanning with Nanometer Resolution

カテゴリ: 国際会議

論文No: TT6-6

グループ名: SAMCON2018

発行日: 2018/05/10

著者名(英語): Shingo Ito Stefan Troppmair Francesco Cigarini Georg Schitter(TU Wien)

原稿種別: 英語

PDFファイルサイズ: 509 Kバイト