Compensating quasi-static disturbances for inferential control: an observer-based approach applied to a wafer stage

カテゴリ: 国際会議

論文No: V2-4

グループ名: SAMCON2018

発行日: 2018/05/10

著者名(英語): Noud Mooren Nic Dirkx Robbert Voorhoeve Tom Oomen(Eindhoven University of Technology,ASML Research Mechatronics)

原稿種別: 英語

PDFファイルサイズ: 798 Kバイト