Implementation of feedback and disturbance feedforward control on an industrial active vibration isolation system

カテゴリ: 国際会議

論文No: V2-7

グループ名: SAMCON2018

発行日: 2018/05/10

著者名(英語): Michiel Beijen Marcel Heertjes Hans Butler Maarten Steinbuch(Eindhoven University of Technology,ASML)

原稿種別: 英語

PDFファイルサイズ: 693 Kバイト