Evaluation of Disturbance Caused by Cable Tension in Multi-axis High-Precision Stage using Wireless Power Transfer

カテゴリ: 国際会議

論文No: SS2-4

グループ名: SAMCON2019

発行日: 2019/06/04

著者名(英語): Yuma Yazaki Wataru Ohnishi Takehiro Imura Hiroshi Fujimoto Koichi Sakata Atsushi Hara Zhaoxiang Chen Zhaoxiang Yokoyama Kazuhiro Suzuki(The University of Tokyo,Nikon cooperation)

原稿種別: 英語

PDFファイルサイズ: 1,488 Kバイト