• MEMS-based Electromagnetic Membrane Actuator Utilizing Bonded Magnets for Micropump
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MEMS-based Electromagnetic Membrane Actuator Utilizing Bonded Magnets for Micropump

MEMS-based Electromagnetic Membrane Actuator Utilizing Bonded Magnets for Micropump

¥440 JPY
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カテゴリ: 国際会議

論文No: P-2

グループ名: SAMCON2020

発行日: 2020/08/04

著者名(英語): Chao Qi|Dong Han|Tadahiko Shinshi

原稿種別: 英語

PDFファイルサイズ: 759 Kバイト

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