Primary-Side Voltage Control for High-Efficiency Operation of Wireless High-Precision Stage

カテゴリ: 国際会議

グループ名: SAMCON2023

発行日: 2023/03/22

著者名(英語): Takumi Hayashi and Hiroshi Fujimoto (The University of Tokyo, Japan); Koichi Sakata and Zhaoxiang Chen (Nikon Corporation, Japan)

PDFファイルサイズ: 2,667 Kバイト