Gaussian Process-Based Compensation of State-Dependent Disturbances in Iron-Core Linear Motor Stages

カテゴリ：国際会議

論文No：

グループ名：SAMCON2026

発行日：2026/3/3

タイトル(英語)：Gaussian Process-Based Compensation of State-Dependent Disturbances in Iron-Core Linear Motor Stages

著者名：Reon Sasaki (Tokyo University, Japan); Wataru Ohnishi (The University of Tokyo, Japan); Pai-Hsueh Yang (Nikon Corporation, USA); Houng-Joong Kim (KOVERY, Korea (South)); Koichi Sakata (Nikon Corporation, Japan); Takafumi Koseki (The University of Tokyo, Japan)

キーワード：

要約(英語)：

原稿種別：英語

PDFファイルサイズ：3,226Kバイト