Implementation of Fast and Energy Efficient Temperature Control for a Semiconductor Vertical Furnace with an Inside Heater

カテゴリ：国際会議

論文No：

グループ名：SAMCON2026

発行日：2026/3/3

タイトル(英語)：Implementation of Fast and Energy Efficient Temperature Control for a Semiconductor Vertical Furnace with an Inside Heater

著者名：Koma Nishioka (The University of Tokyo); Christian Milleneuve Budiono, Wataru Ohnishi and Takafumi Koseki (The University of Tokyo, Japan); Akira Hirata and Tatsuya Yamaguchi (Tokyo Electron Technology Solutions Ltd, Japan)

キーワード：

要約(英語)：

原稿種別：英語

PDFファイルサイズ：1,131Kバイト