FEMSを活用した電気と熱の最適利用事例（当社山梨製作所）

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: SMF16047

グループ名: 【D】産業応用部門 スマートファシリティ研究会

発行日: 2016/11/14

タイトル(英語): Case of Optimal Use for Power and Heat by Applying FEMS(Fuji Electric Yamanashi Factory)

著者名: 竜田 尚登(富士電機)

著者名(英語): Naoto Tatta(Fuji Electric)

要約(日本語): 半導体製造工場において、FEMSを活用した電気と熱の最適利用による省エネと、エネルギー供給リスク回避の両立に取組んだ事例である。CRにおけるFFUの最適運転制御、加湿・温度制御方式の改良、排熱回収やFEMSと連携したフリークーリング等を実施した。また、高圧UPS、燃料電池、ガスコージェネレーションの導入により、停電・瞬低リスクの回避、エネルギー自給率100%を実現した。さらに排熱利用により燃料の使用量も削減した。

要約(英語): This is a case of applying FEMS to a semiconductor manufacturing factory, to establish energy conservation by optimal use for power and heat, and also risk avoidance against energy supply failure. Optimal operation control of FFU in CR, improvement in humidification and temperature control method, and free cooling in connection with exhaust heat recovery and FEMS, etc., were introduced.Also, risk avoidance against power failure and instantaneous voltage drop, and 100% energy self-sufficiency rate was achieved, by introducing high-voltage UPS, fuel cell, and gas cogeneration. Additionally, the amount of fuel consumption was also reduced, by waste heat utilization.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,108 Kバイト