面方位依存性エッチングを用いた溝型静電誘導整流ダイオードの試作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: SPC06137

グループ名: 【D】産業応用部門　半導体電力変換研究会

発行日: 2006/10/24

タイトル(英語): Fabrication of static induction rectifiers with trench gate which are formed by orientation dependent-wet etching

著者名: 花井 智(山梨大学),矢野 浩司(山梨大学),丸山 諒(山梨大学)

著者名(英語): Satoshi Hanai(University of Yamanashi),Koji Yano(University of Yamanashi),Ryou Maruyama(University of Yamanashi)

キーワード: ダイオード|パワーデバイス|静電誘導デバイス|Diode|power device|static induction device

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 525 Kバイト