可変キャパシタンスを利用した静電浮上の原理と浮上実験

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: SPC07133

グループ名: 【D】産業応用部門　半導体電力変換研究会

発行日: 2007/12/06

タイトル(英語): Principles and Experimental Study of Electrostatic Suspension Using a Variable Capacitor

著者名: 水野 毅(埼玉大学),塚田 真也(埼玉大学),石野 裕二(埼玉大学),高崎 正也(埼玉大学)

著者名(英語): Takeshi Mizuno(Saitama University),Sinya Tsukada(Saitama University),Yuji Ishino(Saitama University),Masaya Takasaki(Saitama University)

キーワード: 静電浮上|静電アクチュエータ|キャパシター|メカトロニクス|運動制御|electrostatic suspension|electrostatic actuator|capacitor|mechatronics|motion control

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 833 Kバイト